总的来说是看机器设备加工工件的结果，衡量衡量平面抛光机品质好坏有以下几个标准：就是被加工工件的平面度，平行度，粗超度，合格率，良率，耗费资料的水平，否程控系统人机一体化等等。

　　衡量工件被加工后的平整水平，平面度就是工件的平整度。这个数值通过一个平面度测试仪可以很精准地测试出来，这个数字过关了才干说这台平面抛光机是符合要求的相对于另一个平面的平行状态，平行度是指工件的一个平面。也就是两平面的误差。因为平面抛光机也可以用来加工上下两面，也可以衡量机器的性能。指工件表面的光滑水平，粗超度。也就是指加工外表具有的较小间距和微小峰谷不平度。这个参数平面抛光机要求更高。

　　平行度，平面度。粗超度越小表示工件外表情况越好，精度就越高。这三点往往是衡量一个抛光机科技含量和工艺技术最基本最重要的因素。